產(chǎn)品名稱:六氟乙烷
化學(xué)品俗名：全氟乙烷
產(chǎn)品分子式:C2F6
產(chǎn)品大類:蝕刻類
產(chǎn)品細(xì)類:蝕刻類
產(chǎn)品規(guī)格:5N:
儲(chǔ)存方式:鋼質(zhì)氣瓶
| 產(chǎn)品說(shuō)明 | 六氟乙烷（hexafluoroethane），又稱全氟乙烷，是乙烷中六個(gè)氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物，是鹵代烴（化學(xué)式：C2F6），亦是烴類化合物乙烷所對(duì)應(yīng)的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）。 |
| 產(chǎn)品用途 | 用作絕緣氣、等離子蝕刻劑, 高介電強(qiáng)度泠卻劑。 |
| 注意事項(xiàng) | 本品可引起快速窒息。接觸后引起頭痛、惡心和眩暈。對(duì)環(huán)境有危害，對(duì)水體和大氣可造成污染，對(duì)大氣臭氧層有極強(qiáng)破壞力。本品不燃。 |
| 應(yīng)用行業(yè) | 半導(dǎo)體 |
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