住友化學(xué)|強化EUV光阻材料！
住友化學(xué)欲強化用于最尖端半導(dǎo)體工藝的EUV（極紫外線）光阻材料業(yè)務(wù)。在該產(chǎn)品在試制和評價用途中取得的實績的基礎(chǔ)之上，該公司獲得了大型晶圓代工公司的量產(chǎn)用途訂單。住友化學(xué)于九月內(nèi)開始從大阪工廠（大阪市此花區(qū)）供應(yīng)產(chǎn)品，抓住2-3年后預(yù)計可超過100億日元的EUV市場。同時住友化學(xué)還將在計劃2022年上半財年建設(shè)的大阪工廠新廠房強化光阻材料的質(zhì)量管理體制。與擁有全球第一市場份額的ArF（氟化氬）液浸用光阻等產(chǎn)品一起，也逐步提高EUV的影響力。
